等離子光氧一體機是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
等離子光氧一體機去除污染物的原理：
等離子光氧一體機技術處理污染物的原理為：等離子光氧一體機在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，等離子光氧一體機適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。作為環境污染處理中的一項具有強優勢的高，等離子體受到了化工廢氣治理方面的高度評價。
等離子光氧一體機降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。
等離子光氧一體機工業廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子分解且處理能耗低等特點，是目前大氣污染治理中富有前景行之的技術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業VOC類廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。
